操作规程

1、根据样品导航，直接双击选择所需拍照的样品部位。

2、将所需拍照样品放置于视野中心。

3、寻找一个特征点，并放置于视野中心，调节放大倍数至拍照倍数的2-3倍大（最好选有棱角的、小的、非线性的特征点）

4、旋转焦距调节旋钮，调节焦距使视野尽可能清晰。（调节的标准：特征点的边缘锐利）

5、若调节焦距时，感觉图像有拉伸时，说明图像有像散。无像散时，图像同心放大缩小。

6、先调节像散的X轴，使图像最清楚，后调节像散的Y轴，使图像最清楚。

7、调节图像焦距，后继续调节像散X和Y。

8、重复多次，直至图像清晰。

9、点击Align中的Aperture alignment，若发现图像在晃动，则说明光阑对中情况不好。

10、分别调节X和Y，使图像不晃动后点击OFF按钮。

11、图像调节清晰后，点击Capture按钮，进行拍照并保存。

注意事项

1．样品为干燥无水固体，无易挥发溶剂，无磁性。

2．观察面应该清洁，无污染物。

3．导电和导热性能好。